职创科普|什么是EUV光刻机?
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发布时间:2024-10-20 11:54
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时间:2024-11-18 00:23
在现代社会中,芯片作为"工业粮食"的地位不言而喻,它深刻影响着生产和生活。从C端的手机到B端的医疗设备,再到国防领域的关键装备,"三百六十行,行行用芯"。芯片的诞生过程中,前道工序尤其关键,其中包括扩散炉、薄膜沉积设备等九类精密设备,而其中,光刻机是至关重要的核心工具,它负责将微小电路图精确复制到硅片上,决定了芯片的性能和可靠性。
EUV光刻机,作为集成电路制造的高端设备,利用极紫外光技术,能刻画出前所未有的微小电路。其内部结构复杂,涉及激光等离子体生成EUV光源,照明系统确保光的高效、均匀投射,掩膜反射精确复制图案,以及晶圆处理通过曝光和显影形成电路。荷兰ASML公司作为全球唯一的量产EUV光刻机供应商,其需求量的激增反映出这项技术在先进制程中的重要性。
EUV技术相较于传统DUV,具有生产成本降低、性能增强、工艺简化等显著优势,它的发展经过数十年的努力,如今正引领着半导体行业向更高制程迈进。未来,随着高数值孔径EUV光刻机的进一步发展,其对芯片性能的提升和半导体行业的推动作用将更加显著,为人工智能等领域提供强大支持。