真空检漏方法有哪些?

发布网友 发布时间：2022-04-30 21:08

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热心网友 时间：2023-10-13 00:41

1、充压检漏法：在被检件内部充入一定压力的示漏物质，如果被检件上有漏孔，示漏物质便从漏孔漏出，用一定的方法或仪器在被检件外部检测出从漏孔漏出的示漏物质，从而判定漏孔的存在、位置及漏率的大小。

2、真空检漏法：被检件和检漏器的敏感元件处于真空状态，在被检件的外部施加示漏物质，如果有漏孔，示漏物质就会通过漏孔进入被检件和敏感元件的空间，由敏感元件检测出示漏物质，从而可以判定漏孔的存在、位置利漏率的大小。

3、背压检漏法：利用背压室先将示漏气体由漏孔充入被检件，然后在真空状态下使示漏气体再从被检件中漏出．以某种方法（或检漏仪）检测漏出的示漏气体，判定被检件的总漏率。

真空检漏的性能指标

真空检漏技术就是用适当的方法判断真空系统、容器或器件是否漏气、确定漏孔位置及漏率大小的一门技术，相应的仪器称为检漏仪。在真空系统、容器、器件制造过程中借助真空检漏技术确定它们的真空气密性、探查漏孔的位置，以便采取措施将漏孔封闭从而使系统、容器、器件中的真空状态得以维持。

漏孔就是真空容器的孔洞和孔隙。容器内外的压力差会使气体通过漏孔从容器的一侧通向大气侧。漏孔一般很微小，实际上不能测出漏孔的具体大小，所以漏孔大小都用漏率（在规定的条件下气体流过漏孔的流量）来表示。

漏孔两侧存在着压力差，即可利用气体流动引起的效应来检漏。为便于检漏和易于检测出漏孔的位置，一般尽可能缩小检测的面积范围，所以先侧重于对零部件的检漏。零部件经过严格的检漏，组装后就可避免漏气。

热心网友 时间：2023-10-13 00:42

真空检漏方法有如下几种：

1、氦质谱检漏

该技术是真空检漏领域里不可缺少的一种技术，由于检漏效率高，简便易操作，仪器反应灵敏，精度高，不易受其他气体的干扰，在检漏中得到了广泛应用。

2、真空封泥检测法

将真空泥逐个封住可疑漏点，注意观察真空度的变化，假如贴上真空封泥真空度提升很快，取掉有明显下降，说明这是一个漏点。这种方法在实际应用中，采用的比较少。

3、真空计检漏法

选用适当的气体或液体做示漏物质，这些真空计便成了探测器，一般镀膜机上都有真空计，使用起来很方便，也是常用到的一种检漏方法。

4、高频火花检漏

这种方法仅适用于玻璃真空系统。先将系统抽成真空，高频火花检漏仪的火花端沿着玻璃表面移动，火花集中成束形成亮点处即是漏孔位置。

选择检漏方法的原则：

1、主要根据被检漏设备的允许漏率为依据，由于一个设备的允许漏率是很多漏孔漏率的综合，为找到一个单个漏孔，所选择的检漏方法的检漏灵敏度就要高于允许漏率1～2个数量级。如一个设备的允许漏率为10-11W，而必须选用的检漏灵敏度为10-12～10-13W；

2、根据具体被检对象，所用方法简便易行、经济实用。

以上内容参考 百度百科-真空检漏技术

热心网友 时间：2023-10-13 00:42

1、充压检漏法；在被检测的部件内部充入一定程度的压力的示漏物质，在测试之中，如果被检测的部件有漏孔的情况下，添加的示漏物质就会从这些漏孔漏出来。

这种情形，需要用特定的的方法或仪器在被检测的部件外部检测出从漏孔漏出的示漏物质，通过这种方式来判断漏孔的位置，大小，以及对应的漏率情况。冲压检漏法在简陋测试领域使用较多。

2、背压检漏法；就是利用背压室先将示漏气体由漏孔充入被检测的部件之中，这个时候，然后在真空状态下使示漏气体再从被检测的部件之中漏出来。

然后，用富源达生产的检漏仪测试漏出的示漏气体，以此来判定被检件的总漏率的方法；富源达检漏仪使用过程之中，能清楚看出测试之部件的漏气漏水部位；一次测试多只部品；研发与产线均适用。

真空检漏分类

真空检测常用的有气压检漏、氨敏纸检漏、荧光检漏、高频火花检漏、放电管检漏和仪器检漏等多种方法。

标准漏孔指在温度为23±7、*低于-25的干燥空气中，保持漏孔一端压强为100千帕±5%，另一端压强低于1千帕的状态下,经过校准后确定漏率的漏孔。常用标准漏孔有玻璃毛细管漏孔、薄膜渗氦漏孔、玻璃－白金丝漏孔、金属压扁漏孔、多孔金属或陶瓷漏孔和放射性漏孔等。

气压检漏被检零部件内腔充以气体(一般为空气)，充气压力的高低视零部件的强度而定，一般为(2～4)×105帕。用皂液涂于零部件可疑表面处，有气泡出现处便是漏孔位置。用这种方法最小可检漏率为5×10-3帕·升/秒的漏孔。

此外，还可将充气的零部件浸在清净的水槽中，气泡形成处便是漏孔位置。用水槽显示漏孔，方便可靠，并能同时全部显示出漏孔位置。如气泡小、成泡速度均匀、气泡持续时间长，则为1.3×10-2～13帕·升/秒漏率的漏孔。如气泡大、成泡持续时间短，则为13～103帕·升/秒漏率的漏孔。

热心网友 时间：2023-10-13 00:43

热心网友 时间：2023-10-13 00:43