【干货】使用电子探针 (EPMA)必备的基本知识
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发布时间：2024-05-07 12:21
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时间：2024-06-22 18:17
探索电子探针显微分析的奥秘：精微世界中的化学元素揭秘
在化学分析的世界里，常规方法往往只能揭示样本的平均成分，而电子探针显微分析（EPMA）则突破了这一限制，为研究材料微观结构和元素分布提供了无比精准的视角。它凭借电子光学和X射线光谱学的融合，成为揭示材料微观化学细节的利器。电子探针的核心功能在于微区成分分析，通过聚焦电子束与样品表面的互动，激发元素特征X射线，进而实现定性和定量的分析。
电子探针仪器的构造巧妙结合了扫描电子显微镜（SEM）的镜筒，但关键在于其检测器部分，专门用于捕获X射线的特征波长或能量，从而进行化学成分的分析。很多电子探针装置甚至作为附件安装在SEM或透射电镜上，以满足对微区形貌、晶体结构和化学成分的全面研究需求。通过电子探针，我们可以同时进行形貌和成分的双重分析，这就需要将SEM和电子探针紧密集成，形成全能的分析平台。
深入解析波长分散谱仪（WDS）
WDS工作原理独特，通过激发微米甚至纳米级别的样品体积，多元素激发的特征X射线会因为其固定波长而发生衍射。关键在于使用分光晶体，其面间距设计能覆盖广泛的元素范围。通过聚焦圆和晶体表面的精细磨制，WDS得以将X射线信号聚焦，展现元素的波长分布，具有极高的分辨率，但牺牲了部分X射线利用率，适用于强度较高的X射线环境。
能量分散谱仪（EDS）的卓越性能
EDS则利用X射线能量差异来解析成分，Si(Li)检测器是其核心元件，能精确捕捉光子能量。电子—空穴对的产生数量与入射光子能量成正比，通过多道脉冲分析器，形成能量色散谱，揭示元素的精确含量。EDS的分辨率可达130eV，探测极限低至0.1%~0.5%，支持定点定性分析、线扫描和面扫描，甚至是定量分析，帮助我们深入了解材料的微观世界。
无论是WDS还是EDS，电子探针显微分析为我们揭示了微观世界的丰富细节，成为科研和工业领域不可或缺的工具，让我们能够深入探究材料的秘密，发现那些肉眼难以察觉的元素分布和结构特征。
【干货】使用电子探针 (EPMA)必备的基本知识
电子探针的核心部分包括镜筒和信号检测系统。镜筒部分构造类似扫描电子显微镜，检测器部分使用x射线谱仪，专门检测特征波长或能量，进行微区化学成分分析。电子探针通常作为扫描电镜或透射电镜的附件，满足微区组织形貌、晶体结构及化学成分三位一体同位分析需求。信号检测系统分为波长分散谱仪（WDS）和能量分散...
失效分析测试探针台
深圳市华芯测试科技有限公司是一家专业从事半导体晶圆检测设备的企业，公司集制造、研发、销售和服务于一体，不仅拥有专业的生产设备、精湛的加工工艺及品质检测体系，具有经验丰富的设计与研发团队及完善的售后服务团队，并集成相关测试仪器、...
【干货】使用电子探针 (EPMA)必备的基本知识
电子探针的核心功能在于微区成分分析，通过聚焦电子束与样品表面的互动，激发元素特征X射线，进而实现定性和定量的分析。电子探针仪器的构造巧妙结合了扫描电子显微镜（SEM）的镜筒，但关键在于其检测器部分，专门用于捕获X射线的特征波长或能量，从而进行化学成分的分析。很多电子探针装置甚至作为附件安装在SEM或...
【面试必备】一文了解电子探针(EPMA)知识重点
EPMA的基本原理是利用高能电子束激发样品，通过X射线、二次电子等信息推断元素种类和含量。高能量电子击出原子内部电子产生特征X射线，其波长与原子序数相关，通过测量波长或能量，即可进行定性和定量分析。EPMA设备包括镜筒、样品室和信号检测系统，其中WDS和EDS是两种常见的信号检测方式。WDS测定特征X射线的特...
干货| 使用电子探针显微分析(EPMA)必备知识
前沿科技的结晶——电子探针X射线显微分析仪电子探针显微分析仪（EPMA），作为现代科学技术的瑰宝，是电子显微镜与X射线光谱分析的完美结合，自1949年法国开创性样机以来，它的发展史便是一部科技突破的编年史。EPMA由精密的电子光学系统、精准的X射线谱仪和稳定的样品室构成，涵盖了电子束的产生、X射线的测...
电子探针EPMA
回答：电子探针X射线显微分析仪(X-RayElectronProbeMicroanalyzer,EPMA)1.1概述1.2EPMA基本原理1.3仪器基本结构1.4定性定量分析方法1.5样品制备1.6定量分析的步骤及注意事项1.1EPMA概述•电子探针X射线显微分析仪(ElectronprobeX-raymicroanalyser,EPMA)的简称为电子探针。•电子探针利用0.5μm-1μm的...
电子探针
电子探针（EPMA）又称X射线显微分析仪（见图2-2-7）。它利用集束后的高能电子束轰击宝石样品表面，并在一个微米级的有限深度和侧向扩展的微区体积内激发，产生特征X射线、二次电子、背散射电子、阴极荧光等。现代的电子探针多数配有X射线能谱仪，根据不同X射线的分析方法（波谱仪或能谱仪），可定量...
一文看懂电子探针(EPMA)
首先，电子探针的显微结构分析利用X射线、二次电子等信息，分析样品微区，能对应显微结构，而像ICP和XRF等则无法做到这一点。其分析范围广泛，覆盖从硼到铀的元素，但氢、氦和锂的分析受限。电子探针定量分析的准确性极高，可达100-500ppm，且分析速度快，无损于样品，适用于珍贵材料研究。电子与固体样品...
epma电子探针检测时为什么会出现检测区域以外的元素
一.电子显微探针分析 EMPA--Electron microprobe analysis 基本原理 电子显微探针是指用聚焦很细的电子束照射要检测的样品表面，用X射线分光谱仪测量其产生的特征X射线的波长和强度。由于电子束照射面积很小，因而相应的X射线特征谱线将反映出该
电子探针仪电子探针
1、电子探针（Electron Probe Microanalysis-EPMA）的主要功能是进行微区成分分析。2、它是在电子光学和X射线光谱学原理的基础上发展起来的一种高效率分析仪器。3、其原理是：用细聚焦电子束入射样品表面，激发出样品元素的特征X射线，分析特征X射线的波长（或能量）可知元素种类；分析特征X射线的强度可知...
EPMA有什么特点?
EPMA与能谱分析（EDS）功能相似，均能进行点、线、面分析，但EPMA精度更高，分辨率比EDS高一个数量级，灵敏度也优于EDS，对微量元素分析效果更佳。实际测试时，两者常结合使用。2. EPMA分析范围广泛，配置能谱仪的电子探针分辨率高，峰背比高，定量分析准确。然而，这要求样品表面平整光滑，以便聚焦。3....
