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单晶炉台液口距大了温度高还是近了温度高

发布网友 发布时间:2024-05-03 20:00

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热心网友 时间:2024-05-14 13:30

近了温度高。
为去除单晶炉热场温度测量信号中的低频干扰、提高温度信号的估计精度,本文提出了一种基于跨维模拟退火(transdimensionalsimulatedannealing,TDSA)的单晶炉热场温度检测方法。
该方法首先将AIC(Ak...本发明涉及一种增强单晶炉热场材料力学性能的方法,该方法是对单晶炉热场材料表面进行涂层。
包括步骤如下:以惰性气体为载气,将碳源气体通过化学气相沉积的方式在单晶炉热场材料表面沉积一层涂层,沉积温度900-960℃,沉积压力3-6kPa.本...通过对C/C复合材料力学性。
断裂性,导热性,热弯曲强度,氧化性及烧蚀性几方面性能进行详细归纳,总结出其具有其他材料不可替代的独特性能.深入解析了C/C复合材料在单晶硅制造中作为热场材料应用的可能性乃至必要性,提出C/C复合材料终将取代。
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