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铸铁表面氮化硅如何清除
发布网友
发布时间:2023-04-23 20:31
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1
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热心网友
时间:2023-10-10 04:19
1、高温磷酸去除氮化硅原理:用热磷酸湿法刻蚀法去除氮化硅。
2、将85%浓磷酸和15%去离子水(DIW)配成并保持在160℃的温度下混合液体进行刻蚀,热磷酸刻蚀之后的芯片一般采用对镀膜后的硅片进行热去离子水清洗除膜,从而去除氮化硅。
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