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002面摇摆曲线是测的表面嘛

发布网友发布时间：2023-04-13 17:00

共5个回答

热心网友时间：2023-10-09 22:28

002面摇摆曲线是测的表面嘛随着第三代半导体GaN的发展,利用GaN基大功率LED作为一种新型的固体光源的应用越来越广泛, GaN基LED具有功率高，能源消耗少，寿命长,体积小,保护环境等一系列的优点,成为人们开发研究的热点。目前应用最广泛的外延GaN材料的衬底是成本较低的蓝宝石衬底,但是由于蓝宝石衬底和GaN之间存在较大的晶格失配和热膨胀系数失配,生长的GaN外延层质量存在很高的位错密度。GaN与蓝宝石衬底的折射率和空气的折射率存在差距, GaN材料的折射率高于蓝宝石衬底和空气的折射率，导致GaN有源区发出的光在蓝宝石和空气之间经过多次折射被材料吸收,降低了光的提取效率。

基于上述原因,为了降低外延GaN材料的位错密度和提高光提取效率, 人们研究了蓝宝石图形化衬底。图形衬底技术是在蓝宝石衬底上作出细微的图形结构,然后生长外延GaN。图形化结构改变了GaN的生长过程, 能够抑制缺陷向外延表面延伸 ,降低了外延的缺陷密度；同时特殊的图形结构能改变有源区发出光的传播路线 ,增加出光机会 ,提高了光提取效率。目前图形衬底的制备分为干法刻蚀和湿法腐蚀 ,广泛应用的图形衬底大都是干法刻蚀制备的 ,干法刻蚀的成本比较高,容易损伤衬底。而湿法腐蚀制备蓝宝石图形衬底技术由于成本低，工艺简单，生产效率高，能有效的避免损伤问题, 成为近期研究的热点。但是在研究的热点中 ,湿法腐蚀蓝宝石的基础研究工作相对较少。

之前有人利用湿法腐蚀蓝宝石 ,研究了湿法腐蚀蓝宝石的图形形貌、腐蚀速率与腐蚀液温度的关系。制备出的图形化衬底通过外延GaN后 , 研究了不同的腐蚀液温度与晶体质量、发光强度的关系。湿法制备蓝宝石图形衬底,腐蚀后图形排列整齐,且方向一致。随着腐蚀液温度的增加,腐蚀速率逐渐增加。GaN外延后,经高分辨 X射线（002）面摇摆曲线测量, (002)的半峰宽随腐蚀液温度的增加而增加。 PL谱测试结果表明, PL发光光强也随之逐渐增加。通过管芯制备,测试 10 ×23 mil2 管芯器件结果 ,光强随之增加。

因此湿制程设备在蓝宝石上的应用也已经得到证实，而华林科纳在蓝宝石行业领域也有过众多合作，具备丰富的经验和实力。

热心网友时间：2023-10-09 22:28

您好，002面摇摆曲线是一种用来测量表面粗糙度的测量方法。它可以用来测量表面的粗糙度，以及表面的平整度和光滑度。它通过测量表面的摇摆曲线，来衡量表面的粗糙度。它可以测量表面的粗糙度，以及表面的平整度和光滑度。它是一种有效的测量方法，可以帮助我们更好地了解表面的粗糙度，从而更好地控制产品的质量。

热心网友时间：2023-10-09 22:28

您好，002面摇摆曲线是一种用于测量表面粗糙度的曲线。它可以帮助我们准确测量表面的粗糙度，以便更好地分析表面的结构和状态。002面摇摆曲线可以用来测量表面的粗糙度，以及表面的粗糙度变化率，从而更好地分析表面的结构和状态。

热心网友时间：2023-10-09 22:29

002面摇摆曲线是一种表面检测技术，它可以用来检测表面的几何形状、尺寸和表面粗糙度。它通过测量表面的摆动曲线来确定表面的几何形状、尺寸和表面粗糙度。

热心网友时间：2023-10-09 22:30

面摇摆曲线是一种测量表面粗糙度的技术，它根据表面的凹凸不平而绘制出的曲线来表示表面的粗糙度。它用来表示表面质量的曲线，因其贴近表面的凹凸不平而得名。

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